EC 시리즈 소프트웨어 기반 정전 흡착 전원 공급 장치는 다양한 까다로운 응용 분야를 충족시키기 위해 다양한 기능을 제공합니다.
이 기기는 Wisman사의 증폭기 기술을 사용하여 다른 전원에 비해 효율성과 처리량을 최대 세 배까지 증가시킨 것으로 나타났습니다.
배면 가스 오류를 줄이고, 처리량을 향상시키며 웨이퍼 접착/터짐 문제를 제거합니다.
EC 시리즈는 과전류, 웨이퍼 존재 여부 및 웨이퍼 클램프 임계값, 클램프 전압, 오프셋 전압 및 내부 또는 외부 진폭/오프셋 제어와 같은 매개변수를 제어합니다.
조정 중 진폭/오프셋 및 출력 제어의 다재다능성을 제공합니다.
후면 패널 I/O, 직렬 컴퓨터 명령 또는 전면 패널 제어를 사용하여 출력을 제어할 수 있으며, 사용자 정의 클램프 및 클램프 제거 시퀀스와 파형을 구성할 수 있습니다.
Wisman사의 EC는 다양한 독특한 도구 및 프로세스에 추가 비용 없이 사용할 수 있는 다재다능하고 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다.
