ECA High Voltage Power Supply

ECA 시리즈는 정전 척(E-Chuck, ESC)용 고전압 증폭기입니다.

이 시리즈는 극성 전환과 강제 접지 외에도 웨이퍼 검사 필요에 따른 웨이퍼 모니터링 시스템을 제공합니다.

또한, 넓은 전압 범위로 Coulomb 및 Johnsen-Rahbek 정전 척을 지원합니다.