HSEM 시리즈 고전압 전원 공급 장치는 집속 이온 빔 전용의 포괄적인 다중 출력 고전압 전원 공급 장치입니다.
대표적인 응용 분야로는 투과 및 주사 전자 현미경, 반도체 분석, 광학 드라이브 헤드, 이온의 밀링 및 수리, 빔 에칭 및 집속 이온 빔 리소그래피 등이 있습니다.
모듈식 설계 방식을 통해 개별 구성 요소를 공통 랙의 대형 섀시에 쉽게 구성하고 조립할 수 있습니다.
인터페이스, 논리 및 제어 회로는 비용과 크기를 최소화하기 위한 표면 실장 기술입니다.
가속 전원 공급, 필라멘트 전원 공급, 극 전력 흡수, 극 전력 및 렌즈 전력 억제. 초저출력 리플, 우수한 조정 속도, 안정성, 온도 드리프트 및 정확성.
특허받은 고전압 서스펜션 및 디지털 제어 기술. 고정밀 모듈의 HSEM 시리즈는 경쟁력 있는 가격으로 OEM 애플리케이션에 이상적입니다.